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量产工艺能力介绍==磨薄、划片

圆片尺寸
减薄能力
切割能力月均产能
最小减薄厚度

抛光推荐

最小切割道宽

推荐要求
4寸160umNA50um
1】切割道大于60um


2】chipping可以接触保护环

各2000片/月
6寸100umNA50um
8寸100um≥150um50um

12寸

(专注Low-K)

100um≥150um50um